产地:日本; 品牌:爱发科
全自动化的XPS系统采用一束扫描、聚焦、单色化的Al X射线源以及一束扫描、聚焦、单色化Cr X射线源用于高空间分辨率的化学态分析和HAXPES* ( 硬X射线光电子能谱分析)。Al单色化X射线能量是1486.7 eV,Cr单色化X射线能量是5414.9 eV。单色化Cr X射线源分析深度是Al单色化X射线源的3倍。
PHI X-tool 全自动扫描型微区XPS探针
PHI Quantera II扫描聚焦XPS微探针
PHI 5000 Versaprobe III 多功能型扫描XPS微探针