GT130D气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气象色谱仪以及其他分析仪器。

  产品特点

l  自带显示，可独立运行

l  质量流量控制器执行JJG 1132-2017国家标准

l  进口电磁比例阀，使用寿命更长

l  采用RS-485通信接口，可远程组网使用

l  紧凑型外观设计，节约更多空间

l  内置高精度MEMS传感器，测量控制更精准

l  所有产品均采用特定高纯气体标定，确保产品的精度

l 可通过专用标定软件对MFC进行标定校准

l  任意角度安装均不影响气体流量

l  专业团队，提供优质服务

  快速的响应

  专业的标定设备及标定测试软件

采用进口标定设备，所有出厂产品均严格执行检定规程

  尺寸结构

  接口定义

  参数信息