型号规格：PDC－MG
整机规格：500×300×300（长×宽×高）mm
整机重量：30 Kg
反应舱规格：Φ165×L210 mm (耐热玻璃)反应舱有效容积：4.5 L
输入电源：220V／50Hz
整机输入功率：400 W
射频功率：0～150Ｗ（连续可调）
射频频率：13.56 MHz
极限真空度：60 Pa
数字式定时器范围：0-99.99 min
数字式电流表和数字式电压表：方便判断工作中的功率大小
二路浮子流量计： 0.2～1.5 L／min 量程，方便二种气体按比例混合
玻璃观察窗：观察清洗舱内辉光的状态
常用工作气体空气、氩气、氨气或混合气体等