技术指标

动态流动学原理

内部保温

最高到150°C

采用高灵敏度的四丝热导池

钨铼热丝或镀金钨热丝

热导池

高/低灵敏度可切换

气体进气口

混气

质量流量计数量

3个或4个*(根据配置选择)

气体流速控制

MFC流量范

2N 100sccm

混气的MFC流量

0.6~30sccm

测试气体

He, Kr, N2, Ar, 02, H2, CO, Co2, NH3, H2O, NO, SO2, H2S

H2O,CH3OH,C2H5OH,C7Hg( Toluene,C6H6( Benzene)和其他气体等

测试处理工作站

1个工作站:原位高温预处理视试

1cm3,03cm3或其它体积00不

温度范目

电子石英加热炉

程序升温速率

500°C~1100:30°min

50~500°:50°min

Quick Cooling快速冷却

Ise adsorption脉中化学吸附, TPD/TPR/TPO

你一字又一喜谱下回忆的诗篇

W600mm x H705mm x D700mm, 80kg