仪器简介：

●采用UV 激光光源，zei高分辨率可达120纳米

●聚焦zei小步进/zei大行程：10纳米(scale resolution of 0.005 mm)/100毫米 

●无须复杂的制样过程，样品无须镀膜导电处理，观察时无须真空，可放置重样品（10KG）

●激光安全等级：CLASS 2 

●图像感应装置：光电倍增管

技术参数：

1 测量
2D测量：zei佳测量范围1.5mm～1 μm；
不仅是线宽度，也能进行圆的直径等几何测量。
3D测量：zei佳测量范围1mm～0.5 μm；
体积、容积、表面积等3D测量；可测量透明膜厚度。
粗糙度分析：zei适合于Rz0.1 μm 程度的粗糙度分析；
不公是线粗糙度，面粗糙度也能检测。

2 3D形貌
能获得3D色彩等多种多样的信息
等高线显示、网格状显示等方式体现3D信息。
利用微分干涉可识别表面的更加细微的凹凸信息。

3 高分辨率观察
显示器倍率为14，400倍。接近SEM的放大率。
接近SEM的高对比度的解像度。
可以分辨常规显微镜所不能的0.12 μm 的LINE和SPACE
利用微分干涉进一步提高分辨率。
实时观察。
zei大观察范围是2，560X2，560μm

主要特点：

● 世界zei高的分辨率、高精度、XY分辨率可达0.12微米

●3D成像，高精度测量，Z轴zei小读数精度0.01微米。

●实时像的获得和测量同时。

●408nm激光采用