XYZ轴压电平台
价格:面议

XYZ轴压电平台

产品属性

  • 品牌CEDRAT
  • 产地法国
  • 型号 XYZ Series
  • 关注度53
  • 信息完整度
  • 产地类别进口
  • 供应商性质一般经销商
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产品描述

压电平台XY200M沿X,Y和Z轴的行程为200 μm,最高可以承受3kg的负载。应用领域包括共焦微镜,掩膜定位和检测。这种平台基于APA200M设计,具有很高的硬度。平台可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X,Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。
这种结构要求驱动器的前两个通道为推拉式。


参数

单位

XYZ200M

型号


V-XYZM200

备注


-

传感器


SG,ECS

主动轴


TX,TY,TZ

最大空载位移[Tx,Ty]

um

180

Z方向最大面外位移

um

200

Z方向的最大转动

urad

240

XY方向的最大转动

urad

50

电压范围

V

-20…150

硬度

N/um

0.66

高度(Z 轴)

mm

44.0

尺寸(X&Y 轴)

mm

100*100

分辨率

nm

1.8

质量

g

540

空载共振频率(在致动方向)

Hz

380

响应时间

ms

1.32

电容(每个电气接口)

uF

6.30

机械接口(有效负载)


物镜接口最大4/55 *1.36(指定)

机械接口(框架)


4 Ф4.5mm 孔 []84

电气接口


3 RG178B/U 同轴电缆


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