KRI 考夫曼离子源 KDC 100
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KRI 考夫曼离子源 KDC 100

产品属性

  • 品牌考夫曼
  • 产地美国
  • 型号考夫曼离子源 KDC 100
  • 关注度34
  • 信息完整度
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产品描述

上海伯东代理美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100, 属于中型规格栅极离子源. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.

离子束流: >400 mA; 离子动能: 100-1200 V; 流量: 2-20 sccm; 中和器: 灯丝.

采用双阴极灯丝和自对准栅极.加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.

离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.


伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100 技术参数:

 离子源型号

 离子源 KDC 100 

Discharge

DC 热离子

离子束流

>400 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

12 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

2-20 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

23.5 cm

直径

19.4 cm

中和器

灯丝

* 可选: 可调角度的支架


伯东KRI 考夫曼离子源 KDC 100 应用领域:

1.溅镀和蒸发镀膜 PC

2.辅助镀膜(光学镀膜)IBAD

3.表面改性, 激活 SM

4.离子溅射沉积和多层结构 IBSD

5.离子蚀刻 IBE


伯东是德国 Pfeiffer 真空泵检漏仪质谱仪真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

 

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若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                    F: +886-3-567-0049
M: +86 152******nbsp;                 M: +886-939-653-958
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