产品描述
EMPX-H2 低温真空探针台产品介绍
美国
Lake
Shore EMPX-H2提供5.5koe(0.55T)的水平磁场，整个设备安装在防震台上。EMPX-HF的温度变化范围4.5K到400K，通过温度选件，最低温度可以达到3.2K。系统需要使用液氦或液氮实现变温。当在室温下产生磁场时不需要制冷剂。当样品的温度低于80K时，需要用液氦制冷。热辐射屏大大降低了黑体辐射，提高了制冷效率。冷头上安装加热器，减小了样品的温度梯度，加上热辐射屏上的加热器，整个系统可以实现快速的变温。
美国 Lake Shore EMPX-H2具有最多4个可以进行微调整的探针臂，每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。360度旋转选件适用于各向异性和性能和角度相关的样品。
| EMPX-H2 低温真空探针台产品特点 |
● 0.55T水平电磁铁磁场
● 系统可使用液氮或液氦制冷，基本系统温度范围：4.2 K to 400K
● 360° 旋转样品座可做为选件提供
● 测量DC到67GHz
● 最大测试样品尺寸25mm（1in）直径
● 控温稳定性：±50mK
● 最多可使用4个探针臂
● 电缆、屏蔽和Guard保护进一步减少了电噪声和热辐射损失
● 可提供不同的选件和附件来满足特定的科研测试需要
EMPX-H2电磁铁低温真空探针台
| 温度 | |
| 温度范围 | 标准温度范围：4.5K到400K |
| 低温选件温度范围：3.2K到400K | |
| 温度稳定性 | ±50mK |
| 加热器温度控制 | |
| 样品台 | 100W |
| 辐射防护屏 | 2个100W |
| 探针臂 | 只监视温度 |
| 磁场 | |
| 最大磁场 | 5.5koe(0.55T)*（水平方向） |
| 磁场均匀区（70A） | |
| 10mm 直径wafer | 0.6% |
| 12.7mm直径wafer | 1.1% |
| 20mm直径wafer | 2% |
| 25.4mm直径wafer | 2.6% |
| 探针臂行程及分辨率 | |
| X轴 | 51mm（2inch），20μm分辨率 |
| Y轴 | 25mm (1inch)，10μm分辨率 |
| Z轴 | 18mm (0.7inch)，10μm分辨率 |
| 系统真空指标 | |
| 抽真空时间 | 系统冷却前抽真空到10-3Torr，需要30分钟 |
| 室温真空度 | 10-4Torr |
| 样品架转动 | 360度（选件） |
| 光学分辨率-显微镜 | |
| 7：1 Zoom | 8微米 |
EMPX-HF2电磁铁低温真空探针台基本系统组成
| 磁场 | |
| 电磁体 | 5.5koe (0.55T),水平磁场 |
| 水冷流量 | 7.6升/分钟 |
| 电磁铁电源 | Lakeshore Model 643 |
| 输出 | 双极，线性，4相，直流电源 |
| 最大电流 | ±70A |
| 最大电压 | ±35V |
| 水冷流量 | 5.7升/分钟 |
| 高斯计和霍尔探头 | Lakeshore 475 高斯计，控制和监测磁场 |
| 制冷 | |
| 开循环制冷 | 4.5K到400K |
| 样品台温度传感器 | Lake Shore CX-1050-SD-HT-1.4M 标定Cernox温度计 |
| 样品台加热器 | 100W |
| 冷辐射屏和红外吸收窗口 | |
| 温度传感器 | Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计 |
| 防辐射屏加热器 | 1个100W和1个50W（需要单独选配温度控制器） |
| 上盖可打开 | ￠50mm(2inch) |
| 温度控制器 | 一台Lake Shore 336温度控制器，和一台142 200瓦电源，（控制冷头和防辐射屏温度，进行探针臂温度监视） |
| 真空腔体 | |
| 直径 | 340mmx203mm(13.4inchx8 inch) |
| 上盖可打开，带清晰的熔凝石英窗口 | ￠54mm(2.13inch) |
| 探针臂开口 | 4个等间距的开口 |
| 泵口 | NW-40，带有真空隔离阀（真空泵需要另外订购） |
| 气体清洗接口 | NW25 |
| 铝制底座 | 787mmx419mm (31in×16.5 in) |
| PS-TMC振动隔离系统 | 包括气动隔离器，支架等，需要40psi氮气或空气 |
| Isolator 自然频率 | 垂直0.8Hz,水平1.0Hz |
| 在5Hz 时Isolation 频率 | 垂直80-97%，水平60-90% |
| 在10Hz 时Isolation 频率 | 垂直90-99%，水平70-95% |
| 一个探针臂上安装温度计，用来监视探针臂温度 | |
| 接地样品架 | SH-1.00-G，最大可测量样品尺寸￠25mm(1inch) |
| 光学 | |
| Zoom 70显微镜 | 8μm分辨率 |
| 彩色CCD相机 | S端子输出和复合输出 |
| 扫描镜头臂 | 镜头的调整臂可以进行旋转、上下升降、前后移动，这样确保在整个样品架范围内对样品进行观察，在更换样品的时候，也可以把调整臂旋转到一侧，方便更换。 |
| 显示器 | 17in显示器 |
| 样品照明设备 | 同轴灯和环形灯 |
| 带脚阀和流量计的液氦传输管线 | |
| 控制柜 | |
| 基本工具、备件和清洁工具 |
