产品特点：

◆ 新配置的专用“慢充”控制，给样品腔体提供理想的二氧化碳流体动力学，保护了大多数易脆样品；

◆ 外部配置了PURGE后的过滤装置，保护样品，容易更换和后期维护；

◆ 采用了独家专利的“Vortex Swirl”非机械搅拌，使PURGE完全而不至于破坏样品；

◆ 高效内部封闭冷却循环系统，可以快速冷却腔体温度，缩短操作时间；

◆ 内置SOTER冷凝器，分离废弃乙醇和废气，消除排气噪音；

◆ 独特的样品室填块，可以改变样品室直径，减少液态二氧化碳的消耗量和处理时间，并兼容不同尺寸晶圆的处理；

◆ 内部过滤系统，过滤流进样品室的液态二氧化碳，过滤颗粒最低尺寸达到0.08μm；

◆ 一次运行可以处理5片6英寸晶圆，改变样品室尺寸，每次运行也可以分别处理4英寸、3英寸、2英寸晶圆及10mm方晶；

◆ 标配特氟龙兼容的6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圆样品架和10mm方晶样品架各1个；

◆ 垂直样品室，内腔有照明，样品室盖子带观察窗；

◆ 明亮的LCD触屏控制；

◆ 内置出厂自动运行程序并可创建和保存个性化程序；

◆ 所有内部表面适用于CO2，丙酮和超纯乙醇；

◆ 可以重复设置的参数，确保结果的可重复性；

◆ 集成自动控温和静态压力控制模块，确保自动安全的运行；

◆ 洁净室和防静电兼容设计；

◆ 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；

产品规格：

◆ 外部尺寸：宽19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm)；

◆ 安装占地尺寸：宽27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm)；

◆ 样品室尺寸：内径6.5” × 深1.25”，样品室容积：679 ml;

◆ LCO2的流速是通过带游标卡尺的微型计量阀门来控制；

◆ 120V/50-60HZ(可选其他电压)；

标准配件：

◆ 高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon） 3 米长；

◆ 双T型过滤装置，双重过滤微小颗粒，过滤装置可预先与LCO2管连接，安装方便；

◆ 安装工具；

◆ 防静电排气管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气；

◆ 样品室O型圈3个，样品室LED照明灯1个，3A和8A保险丝各2个；

◆ 4个Teflon样品室填块,使得样品室直径包括6、4、3、2和1.25英寸;

◆ 直径为6、4、3、2英寸晶圆样品架和边长为10 mm方晶样品架各1个,样品架HF兼容；

◆ 用户手册；