该系统利用扫描探针显微镜光杠杆位移检测技术和超平整参照面-大型样品台扫描技术，并与压电陶瓷（PZT）扫描完美结合，可以再不丧失精度的情况下，即得到超大样品整体三维轮廓图，又呈现局部三维形貌像。其中样品台扫描参考平面使用超高平坦度光学抛光平台，有效解决了以往样品台扫面，由于丝杠公差引起的测试结果有亚微米量级的误差。

三维表面形貌/轮廓仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三维粗糙度（Sa,Sq,Smax），划痕截面面积，划痕体积，磨损面积，磨损体积，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息，或三维信息过于粗糙的现状。将轮廓仪带入了另一个高精度测量的新时代。

1、常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合
2、双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到zei优化的小区域三维测图
3、针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。
4、在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察
5、针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（zei大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率　（zei小０.１nm ）
6、软件设置恒定微力接触
7、简单的2步关键操作，友好的软件操作界面