TEM、STEM 和 SEM （T-SEM） 中纳米尺度的 EDS 元素面分析

清晰的多功能测量装置和细管径几何构型可确保在常规基础上快速可靠的采集 TEM EDS 数据。使用 HyperMap 或谱图获取高光谱成像，我们的软件保存每个像素的谱图和定量分析所需的所有元数据，用于之后的检测和处理。

• 适合不同电子显微镜极靴类型的的 EDS 细管径设计和优化的EDS 几何构型确保了最大信号采集角和检出角

• 有助于避免试样倾斜、吸收、阴影和系统峰

• 无窗探测器可进一步提高检测效率，特别是在低能端，可用于轻元素和高核电荷数元素 L、M 和N 线系能量峰的检测

• 默认模式下自动回缩和自定义可确保探测器更长的使用寿命和更丰富的实验应用

• EDS 可用于原位实验，具有不断变化的数据流，比如高温实验

• 全面的软件套件 ESPRIT，可用于在线和离线的数据分析