Nikon 干涉测量镜头

1）适合非接触光学压型

2）可选Michelson 和 Mirau 镜头

3）200mm镜筒远场校正设计

干涉测量镜头可用在非接触光学压型测量设备上，通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等。也可用来检测表面粗糙度，测量精度非常高，在一个波长之内。一束光通过分光镜，可将光直接射向样品表面和内置反光镜。从样品表面反射的光线通过再结合，就产生了干涉图案。与Mirau镜头比起来，Michelson镜头拥有更长的工作距离，更宽的视场和更大的焦深。Mirau镜头用在需要高倍率和/或大数值孔径的场合。采用Nikon 200mm镜筒(#58-520)的话可将镜头直接装配到C接口相机上。

放大率	数字孔径 NA	焦距 FL (mm)	工作距离 (mm)	产品号
2.5X	0.075	80	10.3	#59-310
5X	0.13	40	9.3	#59-311
10X	0.3	20	7.4	#59-312
20X	0.4	10	4.7	#59-313
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