产地：日本； 品牌：雅马拓
13.56MHz 高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP 双模式。
特点
硅晶圆的灰化及蚀刻。
基板表面污垢处理。
IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。
半导体相关部品的电子材料的干式清洗。
自然氧化膜·有机物去除。
界面活性处理。
表面污染物去除。
雅马拓 等离子清洗机 YSP62
雅马拓 等离子清洗机 AP-4000
雅马拓 等离子清洗机 PDC610
雅马拓 等离子清洗机 PDC200/210/510
雅马拓 等离子清洗机 PM110C
雅马拓 等离子灰化机 PR210C/300/301
产品描述
