发布时间：2022年08月
产品描述
等离子体低温灰化仪VP-RS20真空腔体不锈钢材质，两路进气通道，进气量可调，流量实时监测，数显真空检测，实时观察自动泄压动态，中英文操作系统，触摸屏控制，功率500W，频率13.56MHz，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行3分钟，腔体温度不高于45℃，不损伤样品，适用于晶圆去胶、煤灰化、碳毯（CF）、微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的处理。更多等离子体低温灰化仪产品资料请关注广州善准科技有限公司官网。
