Axia ChemiSEM 是最新一代支持内置 ColorSEM 2.0 技术的钨灯丝扫描电镜，基于全新 TrueSight 能谱探测系统，ColorSEM 可以将元素与形貌信息实时同步显示。Color SEM 彩色成像技术让成分分布更直观，实时定量能谱分析让科研更高效。大舱门设计和最高可承受 10kg 的样品台，让样品制备过程更简单。 Axia ChemiSEM 可选配低真空模式，对不导电样品可以进行有效观测。可搭载 EBSD，CL，WDS，拉曼等。

Thermo ScientificTM ColorSEMTM 技术是第一个集成元素分析和独特彩色成像技术的商业解决方案。它直接在简化的 SEM 用户界面内生成实时彩色图像，无需切换到传统的能量 色散 X 射线能谱（EDS）分析或其他用户界面。这种新技术 可以让用户从他们的样本中获取更完整的信息，对于没有经验 的用户也很容易上手，与现有技术相比可以提高效率。

发射源：预对中钨灯丝

电子光学分辨率

• 高真空模式

– 3.0nm @ 30kV (SE)

– 4.0 nm @ 30 kV (BSE)* 

– 8.0nm @ 3kV (SE)

• 低真空模式

– 3.0nm @ 30kV (SE)

5 种标配探测器系统

• 可伸缩式背散射探测器 BSED

• 带有 ChemiSEM 技术的 TrueSight EDS 探测器

• 高真空二次电子探测器 ETD

• 舱室内红外 CCD

• Nav-Cam+TM 光学导航相机

束流参数

• 探针束流范围：最高2 μA,连续可调

• 加速电压范围：200 V – 30 kV

• 放大倍数：5 到 1,000,000× (Polaroid)

腔室

• 最大样品尺寸：X = 237 mm Y = 280 mm Z = 128 mm

• 样品台移动范围：X = 120 mm Y = 165 mm Z = 128 mm

• 5 轴优中心样品台：

• 倾斜角度：-15°/+90°

• 最大样品高度：128 mm @10 mm 工作距离