微型残余气体分析仪是一种较小的质量能谱仪分析系统。通过享有的小型化设计将四电极质量过滤器进行排列，从而获得了紧凑尺寸。这种排列方式可以提供相近或者更好的灵敏度。

特征

• 较为紧凑的安装尺寸和较轻的重量

与传统的残余气体分析仪相比，尺寸较小，这使它容易整合到您的系统之中。

• 高性能

在只占传统电极一小部分的体积里，微型化的九电极排列提供了良好的灵敏度。

• 高压力条件下可使用

可以在高于0.9Pa（7mTorr, 9 x 10-3mbar）的压力条件下使用，在许多需要昂贵真空泵的应用当中，可以简化或者省略泵的使用。

• 已经校准过的可替换传感器接头

此传感器接头在出货之前已经进行过预调谐和校准。允许客户自己在现场进行传感器的更换。

• 网络传感器

升级到八电极后，可以通过一台使用RS485接口的电脑进行监测。此系统也可以通过以太网进行远程监测。

• 用户友好软件

微电极扫描软件允许用户用各种不同的方式监测气体的部分压力，如趋势曲线图，相似性曲线图，泄露模式，条形统计图，3D等

• 监测控制

可选择性的监测控制器可以安装在反应室的光谱发生器上，使用户无需电脑可以监测真空反应室。

■测量原理

残余气体分析仪是由一个离子源，一个质量分光仪和一个监测单元组成。当残余气体与从高温金属丝释放的热电子碰撞后，它将被离子化。并且，这些因此产生的离子会加速会合到质量能谱仪上。在质量能谱仪上内，直流和交流电压被应用到四个圆柱形的电极上（方形排列），从而让离子因质量的不同而被分离开。这些被分开的离子通过法拉第杯作为直流电被发现。这种离子电流是与残余气体的质量成比例的。