日本三丰525系列CNC超级表面粗糙度测量仪福建三丰代理技术参数 :

X1 轴

测量范围 : 200mm

分辨率 : 0.00625µm

检测方法 : 激光全息光栅尺

测量速度 : 0.02 - 0.2mm/s （表面粗糙度）0.02 - 2mm/s （形状/轮廓）

测量方向 : 向前／向后

直线度 : （0.1+0.0015L）µm 使用标准测针（0.2+0.0015L）µm使用二倍长型测针

直线度 : （0.05+0.0003L）µm 使用标准测针（0.1+0.0015L）µm使用二倍长型测针（CS-H5000CNC）

指示精度 （20ºC）: ±（0.3+0.002L）µm

指示精度 （20ºC）: ±（0.16+0.001L）µm

L 为驱动长度 （mm）

日本三丰525系列CNC超级表面粗糙度测量仪Z1 轴

测量范围 : 12mm （使用标准测针）

24mm （使用二倍长型测针）

分辨率 : 0.004µm （使用标准测针）

0.008µm （使用二倍长型测针）

0.001µm （使用标准测针）（CS-H500CNC）

0.002µm （使用二倍长型测针）（CS-H500CNC）

测针上／下运作 : 弧形运动

检测方法 : 激光全息光栅尺

指示精度 （20ºC）: ±（0.3+I0.02HI）µm

指示精度 （20ºC）: ±（0.07+I0.02HI）µm

H 为测量高度 （mm）

测力 : 4mN （使用标准测针）

0.75mN （使用二倍长型测针）

跟踪角度 : 向上 60º, 向下 60º

（取决于表面粗糙度）

测针针尖 : 参见 L-22 页

测针方向 : 向下

Z2 轴 （立柱）

测量范围 : 300mm 或 500mm

*CS-H5000CNC : 仅 300mm

分辨率 : 0.05µm

检测方法 : 反射型线性编码器

0 - 50mm/s （操纵杆控制模式）

基座尺寸 （W x D）: 750 x 600mm

基座材料 : 花岗岩

超级轮廓测量装置Y 轴 *

测量范围 : 200mm

分辨率 : 0.05µm

0~50mm/s （操纵杆控制模式）

直线度 : 0.5µm/200mm

指示精度 （20ºC）: ±（2+2L/200）µm

L 任意两点间的长度 （mm）

尺寸 （W x D x H）: 800 x 620 x 1000mm

（800 x 620 x 1200mm: 高立柱型）

重量 : 240kg （250kg: 高立柱型）