产地：日本； 品牌：雅马拓
用途：
表面清洗活化
表面蚀刻
Tetra 8 RIE 产品特点：
适用于8”以下样品的处理
等离子蚀刻机，可实现快速且一致的样品表面刻蚀
全局的工艺气体通过气浴进气实现了均匀的气体分布
电极水冷确保了样品的温度不会偏高
工业Windows控制系统，多段程序控制功能，实现一键蚀刻功能
适合于研究院、高校、研发中心等使用，也可小批量生产
产品描述
