布鲁克DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供无与伦比的重现性，重现性低于4A。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年 Dektak 技术创新的顶峰，更加巩固了其行业地位。通过整合其行业产品，DektakXT实现了高性能。

操作简易，从研发到质量控制都有更好的过程控制。整合了技术突破到第十代 Dektak 台阶仪能够在微电子，半导体，太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。

DektakXT 利用独特的直接驱动扫描样品台，将测量时间加快 40%。Vision64 是布鲁克的 64 位并行处理操作和分析软件，能够更快地加载 3D 形貌文件，并更快地应用筛选器和多区域数据库分析。

单拱门结构设计使 DektakXT 更坚固，从而将环境噪音的影响降至低。DektakXT 升级的"智能电子设备"可降低温度变化的影响，并采用现代处理器，大限度地减少噪声水平，使其成为能够测量 <10nm 台阶高度的更强大的系统。

布鲁克的 Vision64 软件通过提供直观、简化的用户可视化界面，加入到 DektakXT 的创新设计。智能架构和可自定义自动化功能相结合，可实现快速、全面的数据收集和分析。无论您是使用分析脚本对单个扫描结果进行分析，还是应用自定义筛选器设置和计算，DektakXT 的数据分析器都能显示当前分析结果，同时显示其他可能的分析工具。

DektakXT 的自对齐探针组件允许用户快速轻松地更换不同探针，同时消除换针中的任何潜在风险。布鲁克提供广泛的探针尺寸和形状，几乎满足任何应用需求。

DektakXT 能够快速轻松地设置和运行自动化的多样品测量模式，以无与伦比的可重复性验证整个晶圆表面薄膜的精确厚度。这种有效的监控可以通过提高测试通量来节省宝贵的时间和金钱。