产品描述
德国Diener electronic成立于1993年，是世界低温等离子工业的领导者，是一家专门研发和制造低温低压等离子清洗机、等离子射频电源和大气（常压）等离子清洗机的高科技企业。
用途：
Diener等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器，以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。
Diener等离子清洗/刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点，主要适合于高科技生产单位的以下场合：
半导体开发、集成电路开发、真空电子行业、生命科学实验等等。
Diener等离子清洗/刻蚀机具有以下特点：
可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序；不会对操作人员的身体造成任何伤害；其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
Femto A | Femto C | Femto D
|
Femto B
| Femto E |
应用：
表面清洁
(e.g. before bonding, soldering or gluing)
表面活化
(e.g. before printing, varnishing or gluing)
表面蚀刻
(e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
表面涂层
(e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)
应用领域：
| REM, TEM | 考古 | 汽车制造业 | 橡胶制造业 |
| 微机械制造 | 传感器检测 | 灭菌 | 纺织业 |
| 医疗器械制造业 | 塑料制造业 | 研发部门 | 电子半导体行业 |
规格、参数：
系列 | Femto |
控制系统 | 半自动型 PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
体积 | 1.9~6L |
真空腔室 | 圆形不锈钢件，配有盖子 矩形不锈钢件，配有铰链的门 配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门 配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门 配有盖子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有铰链的门 |
电极 | 单层或多层 RIE |
样品支架 | （选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
气源 | 针型阀 质量流量控制器 (MFCs) |
压力计 | Pirani Baratron（适用于腐蚀性气体版本） |
计时器 | 数字型 |
高频电流发生器 | 40 kHz: 功率 0 - 100 W； 13.56 MHz；功率 0 - 50 W；0 - 300 W 12.45 GHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型 |
真空泵 | KASHIYAMA |
电源 | 供电电源： 台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位 |
