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中国中南大学
产品描述
仪器简介：
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
技术参数：
| 满量程流量范围（N2） | 5SCCM～10SLM |
| 控制范围 | 2～100％F.S. |
| 阀类型（及阀初始状态） | 电磁调节阀（常闭） |
| 准确度 | ±1.5％F.S. |
| 线性 | ±0.5～1.5％F.S. |
| 重复精度 | ±0.2％F.S. |
| 响应时间 | ≤7sec |
| 工作温度范围 | 5～45℃ |
|
工作压差 |
0.1～0.5MPa |
| 耐压 | 3MPa |
| 漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
| 密封材料 | 氟橡胶、氯丁橡胶 |
| 电插头形式 | DB15 pin(Female) |
| 接头选择 |
VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/4”或φ6、φ3 |
| 抗电磁干扰 | CE |
| 重量 | 1.1Kg |
主要特点：
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★7B型的更新换代型
★管状分流，使用寿命长
