仪器简介：

主机宽度仅为55cm体型小巧，具有3.0nm分辨率的可能性可变压力扫描电镜

技术参数：

二次电子SE分辨率：3.0nm (高真空，30KV)
背散射电子BSE分辨率：4.0nm (25KV，可变压力模式) 4.0nm (低真空：6Pa, 30KV) 
倍率：5~300,000倍
样品台：X: 0~80mm / Y: 0~40mm / Z: 5~50mm / T: -20~90º / R: 360º
zei大载入样品尺寸：直径：153mm
zei大样品高度：60mm (WD=15mm)
真空系统：涡轮分子泵：1台，机械泵：1台

主要特点：

仪器主体比过去减少20%，可以更加自由地选择安装场地
标配低真空功能，可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成
样品台可载入zei大直径153mm，高度为60mm(WD=15mm)的样品，并进行EDX分析
强大的鼠标控制功能，可实现电镜的所有操作