从SEM观察到EDX分析都可轻松操作的SEM-EDX一体化系统。从样品表面观察到元素分析，在一个监视器上简便地操作。

●SEM部：二次电子图像分辩率　　3.5nm
　　　　　倍率　　　　　　　　　×20~300,00
●EDX部：分辩率　　　　　　　　14eV
　　　　　可检测元素　　　　　　C~U

· 紧凑简洁的新一代SEM-EDX一体化设计。
· 岛津独有的SEM-EDX联合系统，可在同一监视器上流畅地进行从观察到分析的操作。
· 岛津提供全套系统，售后服务完备。
· 数据管理采用超级文件形式，树状结构表示各种数据，从分析条件到测定数据，易于察看。
EDX丰富多彩的元素数据解析功能
· 彩色成图
　通过彩色成图可一目了然地显示各元素的分布。

样品：有色冶炼炉渣　加速电压15.0kV　倍率500倍
· 颗粒解析
X射线图像也可通过颗粒解析软件进行平均半径、面积等的解析处理。

样品：有色冶炼炉渣　S-Kα元素像　加速电压15.0kV　倍率500倍