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可分析30μm以下的微小区域,同时,可进行XPS成图,观测到不同结合状态的分布图,是高性能的XPS。
●灵敏度:Ag3d5/2 450W1.0eV时 120μmΦ:200kcps 60μmΦ:75kcps ●成图范围:10mm×10mm zei大 ●自动分析:在10mm×10mm视野内的任意20点
岛津/KRATOS 高性能成图X射线光电子能谱仪
岛津/KRATOSX射线光电子能谱
X射线光电子能谱仪