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面议
美国SVT超高真空磁控溅射系统
产品属性
品牌
产地
型号
SMART-2
关注度
237
信息完整度
关闭
产地:; 品牌:
产品描述
美国SVTA公司
推出zei具智能化的镀膜设备。
磁控溅射领域zei新突破,实现磁控溅射方式的变革,为磁控溅射增添新的发展空间,是磁控溅射方式的zei新探索。
技术参数:
磁控溅射系统
4-6个磁控靶台
DC源
RF源
Ar气气氛控制
真空度10^-10Torr
1"-4" Substrate
主要特点:
超高真空磁控溅射
全部配备国外zei先进泵组保证稳定的真空
稳定工作状态
实现磁控溅射方式的分子级薄膜生长
美国SVTA公司中国办事处
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