仪器简介：

徕卡 DCM-3D双核三维轮廓仪融合了共焦成像和干涉测量技术二者的优点，将3套系统整合一体：

明场和暗场彩色数字式显微镜

高分辨率的共焦成像和测量系统

双重光学干涉轮廓仪

该产品以德国LEICA集团称雄世界的LEITZ干涉镜头为核心，是德国LEICA尖端光学科技的zei新成果，是微纳器件，半导体，光伏，光学加

工，材料研究方面的zei新高端仪器。

技术参数：

直接真彩：采用了白光光源，可直接获得样品表面真实的颜色。无须色彩与形貌的合成处理，避免了信息失真。 

暗场观察：可实现光学显微镜的暗场观察

深度（高度）测量精度可达到0.1纳米：由于采用了相位干涉（PSI）和扫描干涉（VSI）技术，测量精度达到了纳米级。干涉测量的结果不受

样品表面反射率的大小和分布不均匀影响，比其他激光3D显微镜的反射对焦测量法更可靠。

测量高宽比：1：12