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-精密、大型非接触影像测量仪器 -可应用多种传感装置：接触式，CCD，Laser -适合半导体LCD零件测量
X Y Z 测量范围(mm) 300～1,500 300～2,000 50～ 300 分辨率(µm) 0.5/0.1 zei大允许误差 (µm,L:mm) 1.0+L/300～3.5+L/300 zei大速度(mm/s) 400 空气需求(kg/c
超精密三座标测量机
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