LiQuilaz是监测体积的液体光学粒子计数器，用于监测多种粒径的粒子，zei小监测粒径可达0.2µm。它能对多数制程化学品进行高精度分析，其中包括温度高达150℃的氢氟酸和其它热腐蚀性化学品。

监测体积的粒子计数器监测100%的采样量（可高达 80mL/分钟），其采样时间间隔短，不会降低统计显著性，因而这种计数器的监测精准度zei高。

1.提高产量
对粒子浓度进行实时表征和分析，以便能够对粒子污染作出迅速反应
监测样本体积，监测精度更高，适用于要求更严的制程控制
可选购的软件有报警设置、状态显示、采样设置、在线支持等功能，便于制程控制
2.应用广泛
适用于监测各种不同液体
可同压缩式或注射式采样器一起使用
适用多种管路2.标准
具有在线采样和批次采样功能
RS-485 网络兼容
3.容易使用
体积小巧，可以轻松安装在制程的任何位置
功能灵活的软件使用户能够以多种格式查看实时数据或调取数据
用户可选择粒径极限值

应用
1.采用压缩采样监测泡腾化学品
2.化学品质量保证
3.监测制程槽液
4.监测去离子水
5.化学传递系统
6.监测光刻材料

1.提高产量
对粒子浓度进行实时表征和分析，以便能够对粒子污染作出迅速反应
监测样本体积，监测精度更高，适用于要求更严的制程控制
可选购的软件有报警设置、状态显示、采样设置、在线支持等功能，便于制程控制
2.应用广泛
适用于监测各种不同液体
可同压缩式或注射式采样器一起使用
适用多种管路2.标准
具有在线采样和批次采样功能
RS-485 网络兼容
3.容易使用
体积小巧，可以轻松安装在制程的任何位置
功能灵活的软件使用户能够以多种格式查看实时数据或调取数据
用户可选择粒径极限值

应用
1.采用压缩采样监测泡腾化学品
2.化学品质量保证
3.监测制程槽液
4.监测去离子水
5.化学传递系统
6.监测光刻材料