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高分辨率辉光放电质谱仪主要用于高纯材料的杂质分析,例如高纯Si,As, Ge, Cu, Ga, Nb, Ta, 稀土等等,还有陶瓷,玻璃,功能材料等等,是半导体行业,材料行业,冶金行业,等等不可缺少的仪器
连续可调高分辨率
<1cps的背景
其他指标详询
低背景,包括低质量数端的背景
针状,片状样品
高灵敏度,低检测限连续