扫描式光束分析是一种经典的光斑测量技术，通过狭缝/ 小孔取样激光光束的一部分，将取样部分通过单点光电探测器测量强度，再通过扫描狭缝/ 小孔的位置，复原整个光斑的分布。

扫描式光束分析仪的优点：

• 取样尺度可以到微米量级，远小于CCD 像素，可获得较高的空间分辨率而无需放大；

• 采用单点探测器，适应紫外~ 中远红外宽范围波段；

• 单点探测器具备很高的动态范围，一个探头可同时适应弱光和强光分析。

扫描式光束分析仪的缺点：

• 多次扫描重构光束分布，不适合输出不稳定的激光；

• 不适合非典型分布的激光，近场光斑有热斑、有条纹等的状况。

扫描式光束分析仪与相机式光束分析仪是互补关系而非替代关系；在很多应用，如小光斑测量（焦点测量）、红外高分辨率光束分析等方面，扫描式光束分析仪具备独特的优势。

NanoScan 2s 系列狭缝扫描式光束分析仪， 源自2010 年加入OPHIR 集团的PHOTON INC。PHOTON INC 自1984 年开始研发生产扫描式光束分析仪，在光通讯、LD/LED 测试等领域享有盛名。扫描式与相机式光斑分析仪的互补联合使得OPHIR可提供完备的光束分析解决方案。

特点和功能：

• 可测量连续激光以及大于1KHz 重频的脉冲激光

• 取样间隔可以调节小到5.7nm，使其能够极其精确地测量非常小的光斑，

• 可显示2D/3D 光斑形貌

• 扫描速度可调谐

• 16 位数字化信号采集，35dB 高动态范围，20Hz *刷新频率

• 支持用户进行二次开发，便于集成

• 探头可添加功率计选项

• 硅、锗和热释电探测器可选，测量范围可覆盖很宽的光谱范围和功率级别

• 不加衰减就可以测量较高功率或焦点处光斑

• 所有的NanoScan 的校准都可以朔源NIST 标准以确保*终的精度

• 符合国际标准ISO/DIN 11146 及ISO13694。（1989~1996 年，Photon 公司主持了ISO/DIN 委员会的工作，制订出了ISO/DIN11146 标准）

型号指标：

软件功能：

NanoScan 提供Standard 与Professional 两种功能版本：