可根据要求选择光源波长，高品质准直光源通过出瞳后可用于待测元件照明。经出口返回R-Cube内部的光由SID-4 位相传感器测量。
出瞳光束可配置物镜构成点光源/ 球面光束，或扩束器以实现大口径光斑。

• 有效光束口径：与传感器匹配

• 可选光源：365~3900nm 多种波长

测试光路

典型光学元件计量的光路可以R-Cube 和SID4 为核心灵活搭建：

第一步，选择SID4 传感器：

365, 405, 530, 625, 740, 780, 810, 850, 940,1050, 1550, 3900nm，并提供其它波长订制；
第三步，光束调整部件及参考镜