可对应各种选配,膜厚的特制解析
椭圆偏振光测量仪FE5000应用范围
FPD LCD,PDP,FED,有机El
半导体 a-Si,poly-Si,其他
复合半导体 半导体激光,强电介质
数据储存 DVD,HDD,磁气头
光学材料 膜,防放射膜
膜 AR膜
FE-5000S
FE-5000的基础上追加了FE-5000S系列。FE-5000S虽然和FE-5000有相同的基本功能,但是价格低,省空间。光谱椭偏仪的用途也得到扩大。
功能进一步展开的光谱椭圆偏振光测量仪FE5000
高速高精度
纳米级的薄膜膜厚测量
非接触非破坏实现多层膜的解析
材料表面光学常数(n.k)的测量
可求得膜厚以及光学定数的波长分散
[膜厚,光学定数 (n:折射率、K:消光系数)、椭圆偏光仪(tanψ、cosΔ)]
提供膜厚管理膜质管理有用的信息
通过400ch以上的多通道光谱法,迅速测量椭圆光谱
可实现一分钟以内的高速测量
光谱点多,所以坡度大的椭圆光谱也可正确测量
利用多波长光谱仪实现高精度高感度测量
测量反射角度可变,对应薄膜的高精度解析
可对应特制解析的材料物性和多层膜等的高度评价