用    途：
Dualbeam双束电子显微镜被广泛应用于生命科学、材料科学、半导体制造和分析、地球科学等诸多领域。电子束用于对纳米尺度的样品表面形貌实现超高分辨率成像，离子束用于对样品在亚微米及纳米尺度的切割加工，实现对样品内部感兴趣区域的观察。

工作原理：   
Ga离子束从原理上讲就是将Ga离子聚焦得非常细的高能离子束在试样上扫描切削是样品。离子束可以激发二次电子信号通过探测器接收、放大和显示成像,以获得样品表面的图像。

配    件：
1. 场发射灯丝
2. 光阑 200um、300um、400um、500um、1250um
3. 离子源     
4. 抑制极   
5. 拉出极    
6. 离子束光   
7. 辅助气体源     
8. 真空规     
9. 机械泵密封圈      
10. 机械泵油      
11. 密封圈