产品描述
电子光学系统
组成：电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件。
作用：获得扫描电子束、作为产生物理信号的激发源。
信号收集和显示系统
信号收集：二次电子和背散射电子收集器、吸收电子显示器、X射线检测器（波谱仪和能谱仪）
显示系统：显示屏有两个，一个用于观察，一个用于记录照相。
真空系统
组成：机械泵、扩散泵
作用：保证电子光学系统正常工作，提供高真空度，防止样品污染，保持灯丝寿命，防止极间放电。
电源系统
包括启动的各种电源，检测-放大系统电源，光电倍增管电源，真空系统和成像系统电源灯。还有稳压、稳流及相应的安全保护电路。
SEM3300 是全新一代钨灯丝扫描电子显微镜，分辨率优于2.5nm。特殊的电子光路设计，突破钨灯丝分辨率极限，在低电压 1 kV 下，达到 5 nm 的分辨率。
拥有出色的成像质量、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。大景深，成像富有立体感。丰富的扩展性，助您在显微成像的世界中尽情探索。
分辨率
2.5 nm @20 kV
4 nm @ 3 kV
5 nm @ 1 kV
放大倍率
1~300，000x
加速电压
0.1 kV ～ 30 kV
产品优势
低电压高分辨具备镜筒内减速模式，在低电压下，实现高分辨成像
Inlens探测器镜筒内inlens探测器，提高信号的收集效率，实现高信噪比高分辨
电磁复合物镜有效减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品
光学导航可快速定位目标样品和感兴趣区域
*AutoMap 可实现全自动的采图和拼接 展示超大视野画面
产品参数
| 电子光学系统 | 电子枪类型 | 预对中型发叉式钨灯丝电子枪 |
| 分辨率 | 2.5 nm @ 20 kV | |
| 4 nm @ 3 kV | ||
| 5 nm @ 1 kV | ||
| 放大倍率 | 1 x～300,000 x | |
| 加速电压 | 0.1 kV～30 kV | |
| 成像系统 | 探测器 | 二次电子探测器（ETD）、镜筒内高角度电子探测器 |
| *背散射电子探测器、*能谱仪EDS等 | ||
| 图像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG | |
| 真空系统 | 真空模式 | 优于5×10-4 Pa |
| 控制方式 | 全自动控制 | |
| 样品室 | 摄像头 | 光学导航 |
| 样品仓内监控 | ||
| 样品台配置 | 五轴自动 | |
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
应用案例
铅锌矿
加速电压：20 kV / 放大倍率：X200
铁矿石粉末
加速电压：15 kV / 放大倍率：X500
球形石墨表面
加速电压：3 kV / 放大倍率：X5000
三元前驱体2
加速电压：15 kV / 放大倍率：X20000
磁电材料
加速电压：15 kV / 放大倍率：X5000
芯片
加速电压：15 kV / 放大倍率：X1000
高分子微球
加速电压：5 kV / 放大倍率：X2000
静电纺丝
加速电压：5 kV / 放大倍率：X10000
