发布时间：2023年03月
产品描述
压电 · ⼤范围扫描运动 — Carrier.S100-OB.Z
室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Carrier.S100-OB.Z 物镜⾃动对焦扫描台产品特⾊
• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级
Carrier.S100-OB.Z 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨ | 正常版本 | ||
.NM 绝对⽆磁版本； .HV， ⾼真空版本 ; .UHV ，超⾼真空版本； | |||
1 | 运动⽅向 | Z 轴 | |
2 | ⾏程 | 100 um | |
3 | 线性度 | 0.02% | |
4 | 摇摆 / 俯仰 | 30 urad | |
5 | 内置传感器 | 电容式传感 | |
6 | 传感器噪⾳ | 0.3 nm | |
7 | Z ⽅向分辨率，开环 | 0.1 nm | |
8 | 稳定时间 (90%位置到达) | 15 ms | |
0.4 N/um | |||
9 | 刚性 | ||
10 | 共振频率(⽆负载) | 650 Hz | |
11 | 共振频率( 150 g 负载) | 275 Hz | |
12 | 整体重量 | 270 g | |
13 | 不锈钢304 ，铝合⾦ | ||
