DYCOR质谱仪可以测量从高真空直至大气压很宽压力范围的气体样品.针对不同的研究,有多种离子源(开放式,流导限制式,封闭式)和多种进样系统可选;质量数测量范围(1-100AMU/1-200AMU/1-300AMU)也可根据需要选择.
适用的应用领域有:
真空和超高真空残余气体分析(如分子束外延,离子注入)
真空系统检漏
PVD/CVD/刻蚀/磁控溅射残余气体分析
催化研究
发酵尾气

质量数测量范围：1-100AMU/1-200AMU/1-300AMU
压力范围：从大气压直到高真空
zei小可检分压：法拉第筒 5*10-12Torr;电子倍增器5*10-14Torr
分辨率：0.5AMU（10%峰高）
发射电流：0.1-10mA;脱气时50mA
电子能量:30-150V; 脱气时200V
离子能量:1-10V
灵敏度:法拉第筒 2*10-14A/Torr,测量条件是N2+,峰宽为0.5AMU,10%峰高,灯丝发射电流1mA
稳定性: 质量数:±0.1AMU(30分钟预热);峰高:±2%(30分钟预热)

在线测量气体组分
分析速度快,尤其与色谱等分析方法相比
四极杆参数自动优化,确保数据可靠,重复性好;
软件有实时计算功能
软件支持脚本功能,实现自动控制
软件内置谱库,帮助确认组分
软件有演示模式,方便用户熟悉软件和编辑方法
多个模拟量/数字量输入/输出可选
各种质量分析器的电路控制单元可互换