仪器简介：
•在半导体及平面显示器产业中，激光zei常被应用在修整、修理、画线等制程上。
而工业量产上的设备往往被要求符合以下条件：

C长时间的操作以及稳定性
C不受环境条件改变影响产出水平
C配合顾客的特殊需求可以增加功能

•SPICA产品主要提供给工业顾客使用，对于上述的要求我们不仅要求达到，对于
产品的设计皆从顾客需求与便利着手，如：轻巧、气冷式，提供优于其它竞争者
的产品

针对不同材料与应用，提供合适的产品
　・High repetition rate >>> High throughput (cf) flash lamp laser
　・Compact >>> Advantage for applying to process system
　・shorter wavelength >>> Applied to High-value added materials


技术参数：
1.波长: 提供266nm, 355nm, 1064nm这三种波长
2.功率: 提供120mW到zei高5W
3.使用寿命: 10000小时
4.脉冲间隔: 10-25ns


主要特点：
产品多样化选择（Versatility）

1.提供Nd:YAG及Nd:YVO4两种倍频晶体，满足加工时需要High repetition rate或High pulse energy的需求

2.以优异的倍频转换器技术，提供从IR到DUV不同波长的产品，满足不同材料与条件的加工

产品具高可靠度（High reliability）

以控制系统零件的温度、选择高质量的光学组件以及消除有害物质等方式，使产品具有高度可靠度，达到雷射在长时间操作下不需任何维护的目标

产品通过抗震测试（Durability against shock）

使用3D模具设计坚固的外壳并通过震动与晃动测试，使雷射得以在晃动或受到强烈震动下，仍能有稳定的产出能量

产品通过环境温度测试（Environmental durability）

以控制系统零件的温度、使用CAE分析热能测试规格以及进行环境测试等方式，使雷射当室温从20度提高至35度时，仍能提供稳定的产出能量