仪器简介：
广范围用于表面粗糙度、三维形貌、微观结构精密测量和分析；

技术参数：
RMS可重复性（标准模式）：1nm 外侧面采样：0.11到8.8μm
RMS可重复性（精度模式）：0.1 nm 视场：8x10mm（@0.78x）到
RMS可重复性（单波段）：0.05 nm 0.84x0.063mm（@100x）
垂直扫描范围：30μm，100μm zei大斜度：40°到3.2°
或者10mm 校准精度：超过0.1%
数据采集时间：zei高可到7.2μm/s 反射率：1%到100％


主要特点：
二维、三维干涉高精度成像；
工业标准统计用报告或者图形数据的形式存储；