可变真空扫描电子显微镜，它具有全自动电子光学设置，全自动真空转换控制以及全自
动操作等功能，是一台操作简便，自动化程度高，性能稳定，高分辨率的扫描电镜。

产品特点：

◆ 独有的四偏压功能和新型物镜，实现了3KV下分辨率10nm，可更好地观察样品表面图像。
◆ 日立独有的5分割背散射电子探测器。
◆ 具有TV模式（刷新率25帧/秒），调节图像方便。
◆ 图像全屏显示精度可达1280x960像素，
存储精度可达5120x3840像素。
◆ 工作距离10mm时，电位移±50μm，方便高倍下样品的观测。
◆ 图像分割（双屏）模式可左右同时刷屏，真正实现同时观察两种不同信号的图像。
◆ 具有先进的自动操作功能。
◆ 物镜光阑为4孔可移动光阑。
◆ 真空控制达到了全自动控制。