该系列在CSPM-2000系列的基础上，采用更强的激光器、更加精确的步进马达、更加稳定和便于操作的结构设计，在控制系统性能、探头结构和性能、软件功能等方面均有大幅提升。CSPM3000系列包括四个基本型号，即CSPM3100、CSPM3200、CSPM3300、CSPM3400，具有常规多模式扫描探针显微镜的全部功能，同时可以扩展成为扫描电场力、扫描磁力显微镜等。采用大样品台设计，使用户的样品不仅仅局限于一厘米见方的小样品，用户可以有足够的空间自己设计样品台、样品夹具、环境池等，大大拓展了科研应用的领域。
性能指标:
横向分辨率(1μm X lμm扫描器)：
0．13nm(STM，以石墨样品定标)
0．26nm(AFM，以云母样品定标)
垂直分辨率(1μm X lμm扫描器)：
0．01nm(STM)
0．1 nm(AFM)
探针激励信号：
振幅为0~5V；频率为DC~1000kHz，32bit分辨率