发布时间：2023年05月
产品描述
JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列的新机型。 从设定视野到生成报告，用于分析的软件整合于一体，加快了作业速度！是一款无缝操作，使用更加方便的扫描电子显微镜
主要技术指标
分辨率 高真空模式 | 3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV) |
低真空模式*1 | 4.0 nm (30 kV BED) |
图像倍率 | ×5～×300,000 |
显示倍率 | ×14～×839,724 |
电子枪 | 钨灯丝 电子枪完全自动合轴 |
加速电压 | 0.3kV～30kV |
低真空压力设定范围※1 | 10～650Pa |
物镜光阑 | ３档 带有ＸＹ微调功能 |
自动功能 | 灯丝调整、电子枪合轴调整，聚焦、像散、衬度/亮度调整 |
最大样品尺寸 | 200 mm直径×75 mm高度 |
样品台 | 大型全对中式 |
图像无缝拼接功能 | 标配 |
显示测试位置座标 | 直径203 mm |
标准菜谱 | 有（包括EDS条件 ※2） |
图像模式 | 二次电子像、REF像、成份像*1、形貌像*1、阴影像*1等 |
获取图像的像素数 | 640x480 1,280x960 |
OS | Microsoft®Windows®10 64bit |
显示器 | 23寸触摸屏 |
EDS 功能*2 | 谱图分析、定性分析/定量分析、线分析（水平线分析、任意方向线分析）元素面分布、电子束追踪等 |
测长功能 | 有（两点间距离、平行线间距离、角度、直径等） |
数据管理功能 | SMILE VIEW™ Lab |
生成报告功能 | SMILE VIEW™ Lab |
语言切换 | 可以在UI 上（日语/ 英语） |
抽真空系统 | 完全自动 TMP：1 台、RP：1台或2台※1 |
备注：Windows10 为美国微软公司在美国及其它国家的注册商标或商标
主要选配件
背散射电子检测器（BED) ※1
低真空二次电子检测器（LSED)能谱仪(EDS)※2
波谱仪（WDS）
电子背散射衍射检测器(EBSD)
加载互锁真空室（预抽室）
样品台导航系统（SNS）
样品室观察系统(CS)
操作面板
3D测量软件操作台
※1 为JSM-IT500LV/LA的标配功能。
※2 为JSM-IT500LV/LA的标配功能。
