能量色散谱仪是利用荧光X射线具有不同能量的特点，将其分开并检测，不必使用分光晶体，而是依靠半导体探测器来完成。X光子射到探测器后形成一定数量的电子-空穴对，电子-空穴对在电场作用下形成电脉冲，脉冲幅度与X光子的能量成正比。在一段时间内，来自试样的荧光X射线依次被半导体探测器检测，得到一系列幅度与光子能量成正比的脉冲，经放大器放大后送到多道脉冲分析器。按脉冲幅度的大小分别统计脉冲数，脉冲幅度可以用X光子的能量标度，从而得到计数率随光子能量变化的分布曲线，即X光能谱图。

       每一种化学元素的原子都有其特定的能级结构，其核外电子都以各自特有的能量在各自的固定轨道上运行，内层电子在足够能量的X射线照射下脱离原子核的束缚成为自由电子，此时的原子处于激发态，这时，其他的外层电子便会填补这一空位，也就是所谓跃迁，同时以发出X射线的形式放出能量。由于每一种元素的原子能级结构都是特定的，它被激发后跃迁时放出的X射线的能量也是特定的，称之为特征X射线。通过测定特征X射线的能量，便可以确定相应元素的存在，而特征X射线的强弱则代表该元素的含量。X射线具有波粒二象性，既可以看作粒子，也可以看作电磁波。看作粒子时的能量和看作电磁波时的波长有着一一对应关系，即普朗克公式：E=hc/λ。因此，无论是测定能量还是波长，都可以实现对相应元素的分析，其效果是完全一样的。根据此原理，X射线荧光光谱仪有两种基本类型：波长色散型（WDEXRF）和能量色散型（EDXRF）。

       能量色散X射线荧光（EDXRF）是一种常规的分析技术，广泛用于各种样品类型中主要元素及微量元素的半定量和精确定量分析。其广泛的实用性源于：快速、准确、无损的多元素分析；元素分析范围涵盖从钠（Na）至铀（U）；含量分析范围从低的PPM级到高的百分含量（wt%）。

       日本理学NEX CG功能多样，可以实现各种类型样品的常规分析。从均匀、低粘性的液态样品，到固态、金属、泥浆、粉末和胶状样品。特别适用于对成分完全未知的样品进行半定量分析。NEX CG欠打的分析能力，灵活、方便的使用性，使其在科研、工业及现场检测领域有着广泛的需求。

 独立的2次靶光学系统、能为范围广泛的元素提供很好分析。钠 (Na) 、镁(Mg)、氯(Cl)等用EDX分析比较困难的元素也能用NEX CG进行分析。     

能量色散X射线荧光（EDXRF）分析的特点

*检测样品完全无损

*元素分析从钠（Na）至铀（U）

*适用于固态、液态、粉末及稀薄样品

*偏振式激发使检出限（LOD）更低

*无需标准样品即可进行半定量分析

*使用RPE-SQX软件减少对标样需求

*独特的光谱重叠处理方法使误差降低

*EZ分析程序用户界面简单