产品描述
安捷伦 (前Varian/瓦瑞安) RPS罗茨泵组是苛刻的工业应用的理想选择，抽速范围从180～10,000 m3/h! 全球超过15,000台罗茨泵组正在使用！RPS罗茨泵机组包括一台MS系列单级旋片泵和一台RP系列罗茨泵，配备集成机架和管路连接。由五款MS系列旋片泵（抽速从70到630 m3/h）和十余款罗茨泵（抽速从180到10000 m3/h）互相搭配组合，提供精确的解决方案以优化性能、成本和能耗。
为系统集成而优化的设计
用于系统粗抽的理想组合，并可作为扩散泵、分子泵以及其它高真空泵的前级泵；
可选电子部件用于真空系统的连续运行与监控
结构紧凑，易于使用
安捷伦罗茨机组易于使用和安装
风冷设计
高性能的罗茨泵
极高的压缩比
安捷伦罗茨泵可以经受非常大的机械负载，减少抽空时间
极限真空度达5×10-3mbar（4×10-3Torr）
清洁:
非常适合于对清洁度要求很高的应用；
独特的迷宫式密封防止污染物进入齿轮箱；
先进的轴密封技术，防止工艺腔室的污染；
高性能捕集器用于捕获可凝性气体。
牢固耐用、值得信赖
低噪音、低震动，这得益于动平衡转子和精密加工的齿轮装置；
维护周期长；
风冷方式 （水冷为可选项）。
| 频率 | RPS-501/301 | RPS-751/301 | RPS-1001/301 | RPS-1401/301 | RPS-2001/631 | RPS-3001/631 | RPS-4001/631 | ||
| 抽速 | m3/h | 60Hz50Hz | 600500 | 900750 | 12001000 | 17001430 | 24002000 | 34502900 | 47003800 |
| 极限总压强 | mbar | ≤7×10-3 | ≤5×10-3 | ≤5×10-3 | ≤5×10-3 | ≤5×10-3 | ≤5×10-3 | ≤5×10-3 | |
| 功率 | kW | 60Hz50Hz | 2.6 + 7.52.2 + 5.5 | 3.6+7.53.0+5.5 | 4.8+7.54.0+5.5 | 6.3+7.55.5+5.5 | 8.8 + 18.57.5 + 15.0 | 12.5 + 18.511.0 + 15.0 | 12.5 + 18.511.0 + 15.0 |
| 供应电压 | V | 60Hz50Hz | 230/460230/400 | 440-480 / 380400/690 | 440-480 / 380400/690 | 440-480 / 380400/690 | 440-480 / 380400/690 | 440-480 / 380400/690 | 440-480 / 380400/690 |
| 噪音等级 | dB (A) | 60Hz50Hz | 7674 | 7674 | 7674 | 7674 | 8078 | 8078 | 8179 |
| 充油 | liter | 1.1 + 7.0 | 1.5+7.0 | 1.5+7.0 | 1.5+7.0 | 2.5 + 22.0 | 2.5 + 22.0 | 7.0 + 22.0 | |
| 工作环境温度范围 | ℃ | 12 to 40 | 12 to 40 | 12 to 40 | 12 to 40 | 12 to 40 | 12 to 40 | 12 to 40 | |
| 储存温度 | ℃ | -15 to 50 | -20 to 70 | -20 to 70 | -20 to 70 | -20 to 70 | -20 to 70 | -20 to 70 | |
| 长×宽×高 | mm | 1088x750x1086 | 1130×750×1175 | 1153×750×1195 | 1289×750×1195 | 1605x1050x1516 | 1615x1050x1516 | 1636x1050x1576 | |
| 总重量 | Kg | 60Hz50Hz | 445430 | 470450 | 530510 | 590570 | 1115 |
