产品描述
通过关注客户的需求并持续提高扩散泵性能及可靠性，安捷伦成为全球扩散泵制造领域领导者。基于四十余年来在工业界的领先地位，安捷伦不断地为世界各地的用户提供将热量转换为抽气量的最高效的扩散泵。凭借着丰富的经验，对扩散泵的各个要素进行最优化设计，安捷伦扩散泵能让您以最低的成本满足诸多高真空应用的要求。
安捷伦扩散泵是世界上单位能耗获得抽气量最大的扩散泵，需要的冷却水量低，不锈钢结构坚固耐用。安捷伦为您提供最低运行成本的扩散泵。
安捷伦扩散泵可满足您的生产工艺需求，在压力较高和气体流量较大条件下依然提供卓越抽气性能，在较大生产工艺中依然掌控气体负载。
通过优化加热器的设计，安捷伦扩散泵对热能的利用效率高，寿命长，同时避免了内置式加热器一旦损坏不易更换的缺点，能在各种应用条件下稳定可靠地工作。同时，温度的稳定和均匀能延长泵油寿命。过热保护开关防止系统温度过高。
许多应用有着特殊的需求。除标配的标准型水冷帽外，安捷伦还可提供增强型水冷帽（小泵）和Halo Baffle 水冷帽（大泵）。在不增加整体高度和不显著降低抽速的情况下，将返油量降低90% 以上。可选装的快冷装置可以缩短冷却周期，从而提高效率。
安捷伦精心设计制造的不锈钢蒸汽喷射塔及油滴防护伞可提供最大的抽气量、稳定的真空度、最大的前级耐压，同时还最大程度地减少了返油。特别是在高压强的阶段，安捷伦扩散泵可以轻松地应对气载的变化，从而特别适合大批量生产的要求。
无维护运行时间对用户非常关键，所以我们简化了操作和维护流程。通过玻璃视窗，可观察真空下冷态和热态的油位，同时可观察油的清洁程度。
| AX-65 | HS-2 | VHS-4 | VHS-6 | VHS-250 | VHS-10 | VHS-400 | HS-16 | HS-20 | HS-32 | NHS-35 | ||
| 抽速(operating range) | l/s | |||||||||||
| 空气 | 65 | 160 | 750 | 1550 | 2125 | 3650 | 4,500 | 6,000 | 10,000 | 17,300 | 28,000 | |
| 氦气和氢气 | 90 | 200 | 940 | 1930 | 2660 | 4560 | 5,625 | 7,500 | 12,500 | 21,625 | 35,000 | |
| 抽速AVS 4.1 (1963) | – | 285 | 1200 | 2400 | 3700 | 5300 | 8,000 | 10,000 | 17,500 | 32,000 | 50,000 | |
| 最大前级耐压 | mbar | |||||||||||
| 无负载 | 1.00 | 0.72 | 0.86 | 0.85 | 0.85 | 0.85 | 0.85 | 0.85 | 0.85 | 0.65 | 0.71 | |
| 全负载 | 0.78 | 0.52 | 0.73 | 0.72 | 0.72 | 0.72 | 0.72 | 0.72 | 0.72 | 0.45 | 0.52 | |
| 最大通导 | mbar-l/s | |||||||||||
| In operating range | 0.25 | 0.80 | 2.0 | 3.2 | 3.5 | 8.4 | 8.4 | 11.7 | 16.7 | 40 | 33 | |
| @1.3×10-2mbar | 0.40 | 0.93 | 3.2 | 4.5 | 4.5 | 10.0 | 10.0 | 15.3 | 23.4 | 45.5 | 45.5 | |
| 获得最大通导建议配置的最小前级泵 | m3/hr | 0.25 | 8.5 | 17 | 28.9 | 28.9 | 51 | 51 | 136 | 170 | 510 | 510 |
| 进气法兰返油率(standard cold cap) | mg/cm2/min | 2×10-4 | 1×10-3 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 | 1×10-3 | 1×10-3 | 1×10-3 | 7×10-4 | 5×10-4 |
| 预热时间 | Min | 7 | 15 | 10 | 10 | 10 | 15 | 15 | 30 | 45 | 60 | 60 |
| 冷却时间 | Min | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 25 | 25 | 30 | 45 | 60 | 60 |
| 泵油更换 | cc | 30 | 100 | 300 | 500 | 500 | 1000 | 1000 | 2.8 liters | 4.7 liters | 11.3 liters | 11.3 liters |
| 电源 | 1ph,50/60Hz 90/115/165/220 V | 1ph,50/60Hz 120/240 V | 1ph,50/60Hz 120/208/240 V | 1ph,50/60Hz 120/208/240 V | 1ph,50/60Hz 120/208/240 V | 3ph50/60 Hz 208/240/380/480 V | 3ph50/60 Hz 208/240/380/480 V | 3ph50/60 Hz 240/415/480 V | 3ph50/60 Hz 240/415/480 V | 3ph50/60 Hz 240/415/480 V | 3ph50/60 Hz 240/415/480 V | |
| 功率 | Watt | 200/250 | 450 | 1450 | 2200 | 2200 | 4400 | 4400 | 8100/9600 | 12000 | 24000 | 24000 |
| 冷却水at 15-26 °C | l/hr | N/A | 20 | 30 | 50 | 50 |
