NexION 5000是业界首款多重四极杆ICP-MS，由四组四极杆组成。其创新设计达到和超过如半导体、生物监测和其他应用领域严苛的痕量和超痕量元素检测要求。NexION 5000性能超越了传统的三重四极杆技术，提供极低的背景等效浓度（在高温热等离子字体中，BECs

NexION 5000 ICP-MS具有：卓越的干扰消除能力出色的背景等效浓度(BECs)无与伦比的基体耐受性符合SEMI S2/S8法规和安规要求

四极杆离子偏转器（Q0，Quadrupole Ion Deflector）是一个基于离子能量的静电质量分析器，对离子进行动态聚焦和质量筛选，同时把离子偏转90度以实现与中性成分和光子分离，导入下一级四极杆。