1932年，Knoll 提出了SEM可成像放大的概念，并在1935年制成了极其原始的模型。

1938年，德国的阿登纳制成了第一台采用缩小透镜用于透射样品的SEM。由于不能获得高分辨率的样品表面电子像，SEM一直得不到发展，只能在电子探针X射线微分析仪中作为一种辅助的成像装置。此后，在许多科学家的努力下，解决了SEM 从理论到仪器结构等方面的一系列问题。

主要特点：

• 新一代镜筒内电子加速、减速技术，保证了复杂样品的低电压高分辨观测能力

• 首次配置的静电-电磁复合物镜，物镜无磁场外泄，实现磁性样品高分辨成像及分析

• 配置4个新一代探测器，可实现9种图像观测，对样品信息的采集更加全面

• 配置大型样品室，有超过20个扩展接口，为原位观测、分析创造了良好的工作环境

• 可以配置 TESCAN 自有或第三方的多种扩展分析附件，如EDS、EBSD、CL、EBL 以及实现与Raman联用

• 模块化 Essence™  软件，直观易用，不同技术水平的用户，均可轻松操作。

  
  

独特的探测器系统

独特的镜筒内探测器系统，可以根据能量和角度的不同选择信号进行采集，获得最全面的形貌和成分信息。Multidetector  探测器配有能量过滤器，可以实现二次电子信号和背散射电子信号的过滤以便增强材料衬度以及提高表面灵敏度，并能够实现二次电子和背散射电子信号之间的实时切换。第二个镜筒内探测器 — 轴向探测器（Axial detector），能以最大效率在任何着陆电压下收集二次电子和背散射电子信号，且不会有明显的信号损失，这样即使在低着陆电压下也能够非常简单的进行超高分辨二次电子成像。

TESCAN CLARA 使用了实时电子束追踪技术(In Flight Beam Tracing™)和中间镜技术(Intermediate Lens™)，可以广泛适用于各类分析研究。TESCAN CLARA 能够在高束流下（最大可达400 nA）仍然保持高分辨成像，这点对于日常分析工作而言非常便利。TESCAN CLARA 是一款真正的多功能分析仪器，适用于纳米材料的表征，高端制造业的严格质控，以及各类研发工作。

软件：

·         测量软件, 公差测量软件

·         图像处理

·         预设参数

·         直方图及LUT

·         SharkSEM™ 基础版 (远程控制)

·         3D 防碰撞模型软件

·         对象区域

·         光电联用

·          定时关机

·         CORAL™（用于生命科学的电镜模块）

·         自动拼图软件

·         样品观察

·         TESCAN Flow™ (离线处理软件)

根据实际配置和需求