小可检漏率：负压检测5×10^-13Pa·m³/s、正压检测5×10^-8Pa·m³/s

漏率显示范围：1×10^-3～1×10^-13Pa·m³/s

启动时间：≤95S

响应时间：＜1s

检漏口*高压力：1500Pa

极限真空：5×10^-4Pa

外型尺寸：350（W）*255(D)*300(H)

重量：18KG

SFJ-16M型氦质谱检漏仪是一款模块式氦质谱检漏仪，轻巧的模块化设计，整体体积小非常易于集成在工业密封性测试设备中。可实现氦气和氢气的检测，适用多种检测要求。适用于高压和低压检测，可在真空中进行低压检测，也可利用吸枪进行本地高压检测。