AZtecWave 是所有 SEM-WDS 型波谱分析系统中唯一使用罗兰圆架构的系统。其余波谱系统均使用平行光结构,即使用X射线光学系统将样品产生的发散X射线转换为平行光束。开发这类型光谱仪的动机之一是制造一种紧凑的 WDS 解决方案,从而更容易的安装在不同型号的 SEM 上。然而,使用聚焦光学而不是大罗兰圆几何架构牺牲了波谱分辨率。图1(b) 显示了罗兰圆型波谱仪 (AZtecWave) 与平行光结构波谱仪(其他品牌)对于 S 和 Mo 元素的分辨能力,Mo Lα 和 S Kα 峰仅相隔14 eV,AZtecWave 可完全分辨出两个谱峰,而平行光系统无法分辨。这证明了使用罗兰圆几何结构可以获得更高的能量分辨率。
AZtecWave结合了WDS的独特功能及EDS的速度和灵活性,可解析X射线谱峰,对微量元素和痕量元素进行定量分析。AZtec软件完全集成了EDS能谱仪和WDS波谱仪的各项操作,保证适合于所有专业水平的用户,同时Tru-Q®处理技术可保证结果的准确性。对于具有挑战的显微分析,AZtecWave能快速准确地给出答案。
提高元素识别和成分分析的准确度
微量元素的识别,测量水平低至数十ppm
轻重元素均具有优异的性能
在所有浓度水平上准确测定元素的成分
在AZtec平台中,完全集成了EDS和WDS分析的工作流程
利用来自EDS和SEM的实时输入,优化WDS设置,确保获得准确结果
概述
提高元素识别和成分分析的准确性,如某些元素谱峰在EDS谱图中有明显重叠
微量元素的识别和测量水平低至数十ppm
对所有浓度水平的元素进行准确定量
用能谱仪 (EDS) 测量常量元素,用WDS测量谱峰严重重叠或痕量元素
解决冶金、电子、矿物学/地质学、陶瓷、法医学和核能发电各行业成分表征的挑战
在AZtec平台中,完全集成了EDS和WDS分析的工作流程
新技术利用了EDS和SEM端的实时数据输入而优化WDS设置,确保在很短的采集时间内为所有级别的用户提供出色的结果
独特的三路控制,在采集前优化束流,采集时间和精度
有经验的用户也可手动控制
EDS和SEM信息自动采集并优化设置:
采集时间
线系
衍射晶体
背景位置
EDS采集参数
EDS探测器位置
牛津仪器波谱仪AZtecWave令扫描电镜也可实现电子探针的功能
针对所有能量进行了优化,这意味着始终可用推荐的X射线线系进行分析
可区分包括过渡金属K线在内的所有常见重叠的元素线系
在较短的采集时间和低束流条件下可获得极低的检测限
与AZtecLive EDS软件和技术无缝集成
Tru-Q技术使得EDS在高达400,000cps计数率条件下提供电子探针级定量精度
特征
导航式的工作流程指导您逐步完成波谱仪的参数设置和性能检查
专为经验不足的用户设计
确保安全操作
提供快速系统设置
保证极优性能
在有需要时生成性能测试报告(例如认证时)
EDS和WDS联合采集和定量分析的专用工作流程
利用EDS进行样品分析位置确认,并自动优化所有EDS和WDS采集参数
“采集时间线”在采集设置期间估计WDS采集时间,并显示采集期间波谱仪的状态
进阶选项包括在分析中添加额外的WDS采集或添加现有的EDS谱图
专用“计算组合”步骤可用于查看和检查来自于单个或多个WDS采集的定量结果
合成WDS谱图可将EDS谱图数据转换成高分辨率、高峰背比结果以检查X射线的谱峰重合、线系能量和背景
标准化
导航条工作流程,确保使用标准样品对系统进行校准,以便获得准确的结果
自动优化采集条件
预置牛津仪器42和56元素标样成分及位置信息,便于导航和快速设置
束流测量与EDS计数率的关联,可用于计算非归一化的EDS-WDS结果
软件