EX1手动椭圆偏振测厚仪是基于消光法（或称“零椭偏”）椭偏测量原理，针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款手动教学仪器。

EX1 仪器适用于纳米薄膜的厚度测量、以及纳米薄膜的厚度和折射率测量。

EX1仪器还可用于测量块状材料（如，金属、半导体、介质）的折射率n和消光系数k。

特点

• 消光法椭偏测量原理

  仪器采用消光法椭偏测量原理，易于操作者理解和掌握椭偏测量基本原理和过程。

• 方便的样品水平放置方式

  采用水平放置样品，方便样品取放。

• 精巧的一体化结构

  集成一体化设计，精巧的仪器外形，方便地显示仪器测量过程中的光强信息。

• 高准确性的激光光源

  采用激光作为探测光波，测量波长准确度高。

• 实用的样品测量功能

  可测量纳米薄膜的膜厚和折射率、块状材料的复折射率。

• 方便的仪器手动操作

      手动完成测量，仪器软件辅助进行测量数据的分析。

• 可扩展的仪器功能

  利用本仪器，可通过适当扩展，完成多项偏振测量实验，如马吕斯定律实验、旋光测量实、旋光等。

应用

EX1适合于教学领域，适用于单层纳米薄膜的薄膜厚度测量，也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。

EX1可测量的样品涉及微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等领域。

技术指标

 注：(1)测量重复性：是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次所计算的标准差。

性能保证

• ISO9001国际质量体系认证下的仪器质量保证

• 专业的椭偏测量原理课程讲授

• 专业的仪器使用培训