产地:美国; 品牌:FSM
FSM360是一台全自动紫外线——可见光RAMan仪器,主要用与测量芯片应力。
利用微米直径光斑照射。
芯片会产生另外一个光束(Raman信号),Raman信号的频率有别于原来的光源。
从Raman信号频率我们可以测出样本的应力大小。
紫外线Raman主要用于薄膜或样本表面的应力测量。
可见光Raman主要用于多层薄膜或厚样本的应力测量。
薄膜应力及基底翘曲测试设备FSM 128
连续式四探针片电阻及光学膜厚测量设备
薄膜应力量测仪Line Card
薄膜应力及基底翘曲测试设备FSM 500TC
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红外干涉测量设备FSM 413